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"SD 시리즈"
이것은 반도체 웨이퍼에 회로를 형성하는 포토 리소그래피 과정 (슬롯 사이트)에 사용되는 약물입니다. SD 시리즈는 금속 이온 및 염소 이온과 같은 불순물이 거의없는 고순도 제품입니다. 날카로운 배선 패턴을 허용하기 때문에 미세한 가공에 적합합니다. 또한, 유기농 및 고도로 알칼리성 액체이기 때문에 무기 알칼리를 대체 할 수 있습니다.
요약
| 일반 이름 | 긍정적 인 광자 주의자 슬롯 사이트자 테트라 메틸 암모늄 수산화물 (TMAH) |
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| 화학식 | n (ch3)4오 | ||||||||
| 메인 포장 | 캐니스터, PE 드럼, PE CAN | ||||||||
| 학년 |
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| use |
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| 참고 | 부식 특성을 가진 고도로 알칼리성 물질로 분류. |
Photolithography 프로세스
*다양한 저항 슬롯 사이트 반도체 웨이퍼에 패턴 (회로)이 형성되는 포토 리소그래피 과정 (슬롯 사이트)에 사용됩니다.
먼저, 포토 레지스트 (감광성 재료)가 웨이퍼 표면에 적용되며, 빛 또는 다른 물질은 화상을 입을 패턴에 투사됩니다. 그 노출 후, 포토 레지스트는 TMAH를 사용하여 용해되어 배선 패턴을 형성합니다.
기능
- 고순도 : 금속 이온 및 염소 이온과 같은 불순물 이온은 거의 없습니다.
- 미세 가공에 적용 가능 : 날카로운 배선 패턴으로 인해 에칭이 쉽게 에칭 할 수 있습니다.
- 강하게 알칼리성, 무색 투명 액체 (실내 온도)
