Tokuyama의 Trichlorosilane은 다결정 실리콘을위한 중간 원료로 생산되므로 반도체 응용 분야에서 사용할 수있는 고급 제품입니다. 이는 에피 택셜 웨이퍼 및 실리콘 수지의 제조에 사용되며, 이는 다이오드, CCD 및 MOS IC와 같은 개별 요소의 기질로서 사용됩니다.

요약

기능

• 실온에서 무색 및 투명한 액체, 자극적 인 냄새가 나는 액체. 밀봉되어있는 한 안정적입니다.
• 공기 중의 수분과 반응하여 실리카를 생성하는 부식성 수소 가스를 생성합니다.
• 가연성 및 공기 중에 쉽게 발화.