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알루미늄 질화물 세라믹
"Shapeal®」
아일루미늄을 베이킹하여 제작 된 세라믹. 우수한 열전도율, 높은 할로겐 플라즈마 저항성 및 SI에 가까운 열 팽창 계수를 활용하여 열 소산이 필요한 부품 및 반도체 제조 장비를위한 부품을 포함한 많은 응용 분야에서 사용됩니다.
요약
| 일반 이름 | 알루미늄 질화물 세라믹 |
|---|---|
| 화학식 | aln |
| 주 특성 | 고순도, 높은 열전도율, 높은 전기 절연, 고강도, 부식성, 광 전환율, 할로겐 플라즈마 저항, 낮은 열 팽창 |
| 용도 |
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| 학년 |
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| 물리적 특성 | Unit | SH-30 | SH-15 | SH-50 | ||
| 일반 물리적 특성 | 밀도 | g/cm2 | 3.34 | 3.33 | 3.24 | |
| 전기 속성 | 볼륨 저항 | ω/cm | 8.4 × 1013 | 1.1 × 1014 | 3.1 × 1013 | |
| 유전 상수 | RT, 1MHz | 9.1 | 9.1 | 8.9 | ||
| 유전 손실 탄젠트 | RT, 1MHz | 2.5 × 10-4 | 3.0 × 10-4 | 2.6 × 10-4 | ||
| 단열성 저항 | kv/mm | 36.7 | 31.3 | 18.7 | ||
| 열 속성 | 열전도율 | 20oC | W/(M.K) | 174 | 184 | 86 |
| 기계적 특성 | 굽힘 강도 | MPA | 511 | 357 | 356 | |
