Tokuyama의 Post-Type Photoresist 온라인 슬롯 "SD Series"는 반도체 파에서 회로를 형성하기 위해 포토 리소그래피 공정 (개발)에 사용되는 화학 물질입니다. SD 시리즈는 금속 이온 및 염소 이온과 같은 불순물이 거의없는 고순도 생성물로 구성됩니다. 이 시리즈는 예리한 회로 패턴을 생성하는 데 사용될 수 있기 때문에 마이크로 프로세싱에 적합합니다.
"SD 시리즈"는 강력한 유기 합금 솔루션이므로 무기 합금 솔루션의 대체물로도 사용할 수 있습니다.
Tokuyama는 일본, 대만, 싱가포르 및 중국에 배송 기지가 있으며 최첨단 반도체 제조업체에 대한 공급 시스템을 강화하고 있습니다.

제품 개요

제네릭 이름	Postive-Type Photoresist 온라인 슬롯, Tetramethylammonium Hydroxide (TMAH)
화학식	n (ch3)4오
포장 / 배송 방법	캐니스터, 화학 드럼, 폴리에틸렌 캔
학년	학년 이름 설명 SD-1 계면 활성제가 추가 (2.38%) SD-20 conc. 제품 (20%) SD-25 conc. 제품 (25%)
일반 응용 프로그램	다양한 종류의 긍정적 인 유형 온라인 슬롯의 포토 리소그래피 과정 (Photolithography Process, 아래 그림 참조) 온라인 슬롯 ​​장치 및 기타 품목 용 알칼리성 클렌저 마이크로 온라인 슬롯-기계 시스템 (MEMS) 용 실리콘 에칭 에이전트 화학 역학적 연마 (CMP) Slurry를위한 재료
주의	부식성 특성을 가진 강한 알칼리 물질로 분류.

포토 리소그래피 과정

* 다양한 종류의 저항 온라인 슬롯
긍정적 유형 포토 레지스트 온라인 슬롯는 반도체 파에 패턴 또는 회로를 형성하는 데 포토 리소그래피 프로세스 (개발)에 사용됩니다. 포토 레스트 (광에 민감한 재료)는 먼저 웨이버 표면에 코팅 된 다음, 패턴은 상기로부터의 빛 노출을 통해 에칭된다. 노출 후, Photoresist는 TMAH (SD Series)를 사용하여 용해되어 회로 패턴을 형성합니다.

특별 특성

• 고순도
  금속 이온 및 염소 이온과 같은 매우 적은 양의 불순물.
• 마이크로 처리에 적용 가능
  쉬운 에칭을위한 날카로운 배선 패턴
• 강한 알칼리
  무색 및 투명한 액체 (실온에서)