Tokuyama의 Trichlorosilane은 다결정 실리콘의 중간 재료로 제조되었으므로 반도체 응용 분야에서 사용할 수있는 고급 슬롯무료입니다.
Trichlorosilane은 실리콘 수지, 전기 다이오드 및 에피 택셜 파와 같은 개별 요소의 제조에 사용되며, 이는 충전-결합 장치 (CCD) 및 MOS 형 IC 기판에 사용됩니다.

슬롯무료 개요

제네릭 이름	Trichlorosilane, TCS
화학식	SIHCL3
포장 / 배송 방법	컨테이너 및 실린더
일반 응용 프로그램	실리콘 에피 택셜 성장 파를위한 재료 실리콘 수지 물질 (유기 실리콘 화합물) 유기 합성 중간체

특별 특성

• 정상 온도에서, 트리클로로 실란은 매운 냄새가있는 무색의 투명한 액체이며, 밀봉 된 용기에 저장 될 때만 안정적입니다.
• 공기 중 수분에 반응하여 Trichlorosilane은 부식성 수소 가스 및 실리카로 분해됩니다.
• Trichlorosilane은 공기에 노출 될 때 가연성이 뛰어나고 쉽게 발화됩니다.